Metal impurities in silicon-device fabrication / Klaus Graff
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TextoSeries Springer series in materials science ; 24Detalles de publicación: New York : Springer, 1999 Edición: 2nd, rev. edDescripción: p. cmISBN: 3-540-64213-7; 3540642137 (hardcover : alk. paper)Tema(s): Semiconductor -- Defects | Silico -- Inclusions | Silico -- Defects | Contamination (Technology)Clasificación CDD: 621.3815
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| Monografías | 03. BIBLIOTECA INGENIERÍA PUERTO REAL | Depósito-621.315.5/GRA/met (Navegar estantería(Abre debajo)) | Texto completo | Disponible Ubicación en estantería | Bibliomaps® | 3720976187 |
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